±0.1精度主（zhǔ）軸冷卻器在（zài）劃片機晶圓加工（gōng）工（gōng）藝中的應用（yòng）

    隨著越來越多（duō）行（háng）業精密加工的（de）需求，特別是半導體（tǐ）晶（jīng）元加工方麵，不單單對環境恒溫恒濕及淨（jìng）化等級方麵的（de）環（huán）境要求，同時對加工機器主軸（zhóu）的精確恒溫冷（lěng）卻更（gèng）是要（yào）求嚴格，隻有保證了（le）機器的精確度才能保證（zhèng）加工出（chū）產品（pǐn）的精度。

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